Beschichtungstribologie von Gold auf Quarzkristallsubstrat
Das QCM arbeitet auf der Grundlage der piezoelektrischen Eigenschaften des Quarzkristalls. Es misst die Massenänderung auf der Oberfläche bis zu 0,1 Nanogramm während der Materialabscheidung, indem es Schwankungen in der Resonanzfrequenz des Kristalls erkennt. Aufgrund der extrem empfindlichen und genauen Eigenschaften des QCM ist es von entscheidender Bedeutung, dass die beiden Elektroden auf beiden Seiten der Quarzplatte eine gute Verschleißfestigkeit aufweisen. Jeder verschleißbedingte Masseverlust an den Metallelektroden kann zu erheblichen Messfehlern führen. Daher ist eine zuverlässige und genaue Bewertung der Abnutzung mit einer Tribometer ist wichtig für die Qualitätskontrolle und die Forschung und Entwicklung von QCMs.