Oberflächenmessung der Oxidation mit 3D-Profilometrie

Der 3D-Nicht-Kontakt Profilometer wird zur Charakterisierung der Flächenmessung von zwei Proben mit A1SiN-Beschichtungen, eine mit niedrigem, die andere mit hohem Siliziumgehalt. Die A1SiN-Beschichtung wurde durch Magnetronsputtern auf H13-Stahl aufgebracht und anschließend einer Oxidationsbeständigkeitsprüfung (900°C - 1 Stunde) unterzogen.

Messung des Oberflächenbereichs von Oxidation Mit 3D-Profilometrie