Résistance à la rupture du silicium par des tests de nano-rayures

Dans cette application, le testeur mécanique Nanovea, en nano test de grattage mode, est utilisé pour mesurer la résistance à la rupture d'un échantillon de silicium de 170μm d'épaisseur. Nous devons simuler le processus de grattage de manière contrôlée et surveillée pour observer les effets du comportement de l'échantillon. Un stylet à pointe de diamant de 2μm est utilisé à une charge progressive allant de 0,5 mN à 400 mN pour rayer la surface du silicium. Les points de défaillance seront examinés.

Résistance à la rupture du silicium par des tests de nano-rayures