Archiwum bloga
Pomiar grubości powłoki wafla za pomocą profilometrii 3D
Pomiar grubości powłok na płytkach krzemowych ma znaczenie krytyczne. Wafle krzemowe są szeroko stosowane w produkcji układów scalonych i innych mikrourządzeń wykorzystywanych w wielu gałęziach przemysłu. Stałe zapotrzebowanie na cieńsze i gładsze płytki i powłoki na płytkach sprawia, że bezdotykowy Nanovea 3D Profilometr jest doskonałym narzędziem do ilościowej oceny grubości powłoki i chropowatości niemal każdej powierzchni. Pomiary w tym artykule zostały wykonane na próbce pokrytego wafla w celu zademonstrowania możliwości naszego Profilometru Bezkontaktowego 3D.