Pomiar powierzchni utleniania za pomocą profilometrii 3D

3D Non Contact Profilometr zostaną wykorzystane do scharakteryzowania Pomiar powierzchni dwóch próbek z powłokami A1SiN, jedna z niskim poziomem krzemu, druga z wysokim poziomem. Powłoka A1SiN została osadzona na stali H13 metodą rozpylania magnetronowego, a następnie poddana testowi odporności na utlenianie (900°C-1 godzina).

Pomiar powierzchni Utlenianie Z profilometrią 3D