透明基板上の透明フィルム測定

ナノベアプロフィロメータPS50は、透明ガラス基板上の透明薄膜の粗さ測定、ステップハイト厚さ、光学的厚さの測定に使用されます。ステップハイトは、フィルムの面積と基板が露出している面積の相対的な高低差を測定することによって得られ、光学的厚みは、プロフィル・メーター・システムによって測定されることによって得られます。 プロフィロメテ透明フィルムを透過して測定し、フィルム上面と基板からの反射を同時に検出することができる。

3Dプロフィロメトリーによる透明基板上の透明フィルム測定