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3Dプロフィロメトリーによるウェハーコーティング厚み計測
ウェーハの膜厚測定は重要です。シリコンウェーハは、膨大な数の産業で使用される集積回路やその他のマイクロデバイスの製造に広く使用されています。より薄く、より滑らかなウェーハとウェーハコーティングが常に求められているため、Nanovea 3D非接触式厚み測定機が使用されています。 プロフィロメーター は、あらゆる表面のコーティングの厚みと粗さを定量化するための優れたツールです。この記事では、3D非接触プロフィロメータの能力を実証するために、コーティングされたウェハサンプルから測定されたものです。
