A MEDIDA DA VERDADE. DESVANTAGENS DA INTERFEROMETRIA

Algumas reflexões sobre o que considerar ao rever as duas luzes brancas profilômetro técnicas. As desvantagens da Interferometria da Luz Branca começam com o uso de software e equações matemáticas para detectar, através do sistema de imagem, o movimento de franjas através da tela à medida que a amostra ou a cabeça de medição é movida para cima ou para baixo em etapas específicas. Estas medições são tão boas quanto o que o software e as peças de imagem podem fazer em termos de "detectar" o movimento destas franjas. Ao lidar com superfícies refletoras e lisas, a precisão dos dados é superior. É por isso que a técnica foi desenvolvida principalmente para aplicações de semicondutores onde as superfícies são freqüentemente reflexivas e as etapas, se presentes, estão próximas a ângulos de 90°.

Entretanto, com uma superfície rugosa e pouco reflexiva, a interpretação do software da superfície real fica longe da verdade por causa dos artefatos inerentes à técnica da Interferometria. Além disso, a Interferometria também é extremamente limitada em termos de medição de ângulos. Novamente, o software pode agora realizar milagres para completar superfícies com informações adicionais, tais como a forma esperada da superfície. A visualização prévia dos dados brutos é uma maneira de saber o que o software manipulou, mas mesmo o software de análise primária faz automaticamente uma interpretação de como a superfície deve ser e completa automaticamente pontos não medidos sem que o usuário saiba. Com um software inteligente, os artefatos podem ser impossíveis de distinguir dos dados reais, uma vez que a renderização da imagem 3D terá um aspecto perfeito e muitas vezes os usuários não sabem como sua superfície realmente é. Isto é especialmente verdadeiro quando se trata de superfícies mais complexas e difíceis.

Além disso, a velocidade é apontada como uma grande diferença entre as duas técnicas. É verdade que a Interferometria pode medir mais rapidamente um campo de visão de imagem para avaliar a rugosidade e o passo. Estas são claras vantagens quando se lida com superfícies lisas de semicondutores. Mas novamente, se a superfície a ser medida não for lisa, os dados podem ser fornecidos mais rapidamente, mas estão longe de ser verdadeiros dados. Além disso, a costura das superfícies funciona quando, novamente, a superfície é lisa e reflexiva e com marcadores de posição claros. A precisão da costura será reduzida à medida que a superfície se torna mais áspera e com tipos de materiais mais difíceis. Pode tornar-se difícil detectar artefatos e problemas com isso quando a superfície é mais áspera do que quando você vê um passo claro. Para obter a melhor resolução lateral é necessário usar uma objetiva de 100x, que limita a área de medição a aproximadamente 140micrometros x 110 micrometros. O número de imagens a serem costuradas pode se tornar um problema ao tentar obter dados precisos sobre peças maiores (100 imagens para 1mmx1mm e 10000 imagens para 10mmx10mm). A resolução lateral da imagem é uma função do número de pixels da câmera que está sendo usada.

Ao contrário da técnica de Interferometria manipuladora, a tecnologia de Cromometria Axial de Luz Branca mede a altura diretamente da detecção do comprimento de onda que atinge a superfície da amostra em foco. É medição direta, sem manipulação de software matemático. Isto proporciona precisão inigualável na superfície medida porque um ponto de dados ou é medido com precisão sem interpretação de software ou não é de modo algum medido. O software pode completar o ponto não medido, mas o usuário está plenamente ciente disso e pode ter confiança de que não há outros artefatos ocultos. A técnica também pode medir quase qualquer superfície de material com ângulos muito mais altos até mais de 80° em alguns casos. O cromatismo axial pode varrer em um comprimento de mais de 30cm em menos de 0,3 segundos. Novo sistema de aquisição está agora disponível para alcançar 31.000 pontos por segundo com varredura de 1m/s. Novos sensores de linha com Cromatério Axial podem realmente medir até 324.000 pontos por segundo. Uma imagem típica adquirida por um interferômetro teria menos de 1.000.000 de pontos de dados por campo de visão. O uso de um sensor de linha Axial Chromatism levará alguns segundos, o que significa que a velocidade real está muito próxima da velocidade de Interferometria enquanto fornece dados mais verdadeiros. Portanto, a velocidade deve ser considerada com base na própria aplicação.

O crescimento da técnica de Interferometria se deveu principalmente a seu sucesso em indústrias com bolsos mais profundos. Portanto, o custo da Interferometria é geralmente o dobro do custo dos sistemas de Cromatério Axial com resolução semelhante e capacidade mais ampla. É nossa experiência que 90% de aplicações são mais bem servidos usando a técnica do Cromatério Axial. Os clientes que escolheram a tecnologia do Cromantismo Axial raramente ficaram desapontados enquanto que há muitas armadilhas com a escolha da Interferometria. E o pesar é quase sempre o mesmo: a desvantagem da Interferometria em relação à ampla capacidade de medição e dados confiáveis e verdadeiros com uma etiqueta de preço elevado.

Ver relatório detalhado