ナノベアーの最先端3Dプロフィロメーター

ナノベアは、ハイスピードHS1000 3Dを プロフィロメーター をオプションで追加しました。標準のオプティカルペンの代わりに、ナノビューオプションのラインセンサーが、リニアとローテーションの両方のステージングと組み合わされました。

の仕様です。
スピード:1800ラインまたは324,000ポイント/秒
線の長さ:1.33mmポイント数 180
スポットサイズ:3.6um ピッチ 7.4um
ワーキングディスタンス。 5mm
Z 測定範囲。 110um
解像度20nm

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