3D Profilometri ile Oksidasyon Yüzey Alanı Ölçümü
3D Temassız Profilometre karakterize etmek için kullanılacaktır. yüzey alanı ölçümü A1SiN kaplamalı iki numuneden biri düşük, diğeri yüksek silisyum seviyesine sahiptir. A1SiN kaplama, H13 Çelik üzerine magnetron püskürtme ile biriktirilmiş ve ardından bir oksidasyon direnci testine (900°C-1 saat) tabi tutulmuştur.