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水晶基板上の金のコーティングトライボロジー
QCMは、水晶の圧電特性を利用して動作する。水晶の共振周波数の変化を検出することで、材料析出時の表面の質量変化を0.1ナノグラムまで測定する。QCMは非常に高感度かつ高精度であるため、水晶板の両面にある2つの電極の耐摩耗性を確保することが重要である。摩耗によって金属電極の質量が減少すると、測定に大きな誤差が生じる可能性があります。そのため、水晶振動子を用いた信頼性の高い高精度な摩耗評価には トライボメータ は、QCMの品質管理や研究開発において重要です。
