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ナノスクラッチ試験によるシリコンの耐破壊性評価
このアプリケーションでは、ナノベアメカニカルテスター、ナノでの スクラッチテスト モードを使用して、厚さ170μmのシリコン試料の耐破壊性を測定しています。試料の挙動効果を観察するためには、制御および監視された方法でスクラッチのプロセスをシミュレートする必要があります。 2μmのダイヤモンドチップ付きスタイラスを用い、0.5 mNから400 mNまでの漸増荷重でシリコン表面に傷をつけます。故障のポイントも検討されます。
