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3Dプロフィロメトリーによる酸化の表面積測定

3Dノンコンタクト プロフィロメーター を特徴づけるために使用されます。 表面積測定 A1SiNコーティングを施した2つのサンプル(一方は低シリコンレベル、他方は高シリコンレベル)を作成した。A1SiNコーティングはH13鋼にマグネトロンスパッタリングで成膜され、耐酸化試験(900℃-1時間)に供された。

の表面積測定 酸化 3Dプロフィロメトリーによる

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