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3Dプロフィロメトリーによる光電子膜の検査

光電子フィルムデバイスおよびシステムは、可視光線または赤外線を電気信号に変換する。薄膜オプトエレクトロニクスデバイスは、光電池、太陽電池、LEDなど、幅広い用途に使用されている。オプトエレクトロニクス薄膜の継続的な開発と、不純物導入、エッチング、表面化学などの関連技術は、マイクロまたはナノスケールレベルでの光電変換の向上を目指しています。

3Dプロフィロメトリーによる光電子膜の検査

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