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AR カテゴリープレスリリース
画像パターン認識による画期的なナノインデンテーション試験
カリフォルニア州アーバイン、2009年4月1日 - ナノベアは、本日、以下の分野における画期的な開発を発表しました。 ナノインデンテーション 品質管理アプリケーションのための最先端のナノインデンテーションに、高度な画像パターン認識機能を組み合わせることで、テストを行うことができます。ナノベアは、マシンビジョンカメラのオプションであるPRVisionをナノインデンテーション試験に組み合わせ、ユーザーの操作をほとんど必要とせず、正確に選択された特徴を自動認識することができるようになりました。ナノベアの PRVision は使いやすいソフトウェアで、パターン化されたサンプルや特に選択された関心領域の硬度や弾性率を自動的に試験することが可能です。硬度や弾性率を含むナノインデンテーション特性は、自動的に測定・記録されます。ナノインデンテーション試験は、「準非破壊的」かつ「低荷重」であるため、硬度や弾性率が重要視される環境において、品質管理を監視するための理想的なブレークスルー・ツールとなります。マイクロエレクトロニクス、太陽電池、医薬品、その他多くの分野で利用されています。「ナノインデンテーションは、これまでプリミティブ・マッピング・オプションを使用して行われてきました。当社の PRVision オプションは、ナノインデンテーション試験を高速化し、硬度や弾性率 が最適な制御パラメータとなる大規模な自動生産品質管理アプリケーションへの扉を開くこと になるでしょう。と Nanovea 社 CEO/President の Pierre Leroux 氏は述べています。
半導体トップメーカーが数ある中からナノベアプロフィロメーターを選択
2009 年 3 月 5 日カリフォルニア州アーバイン - ナノベアは本日、トップクラスの半導体メーカーに HS1000 プロフィロメ ータを初めて出荷することを発表しました。HS1000 は、ナノベアの光学式プロファイラの歴史に新たなハイライトを加えるとともに、高スループットの要求に応えるためにより高度な測定速度オプションを顧客に提供するものです。ナノベアの HS1000 プロフィロメータは、測定速度、自動化、ナノメータ分解能の比類ない組み合わせを備えています。ナノベアの HS1000 プロフィロメータが登場するまで、完全自動化と白色光軸色相技術の独自の利点は、単一の高速走査速度装置ではほとんど見られず、お客様の要望とナノベアだけが提供できる機能でした。従来の高速測定器では、速度や分解能など、ある機能を犠牲にすることで、ユーザー全体の測定能力を制限することが一般的でした。HS1000 プロフィロメーターのステージ速度は 1m/s に達し、同クラスの光学式プロファイラの最大 50 倍の速さです。HS1000 プロフィロメータは、31KHz の白色光軸色相センサと 400mm x 600mm の XY 測定エリアを備えており、最大ステージ速度では 32μm 毎に 1 ポイント、400mm 全体を 1 秒未満で測定できます（ステージ速度を遅くすれば、より高い分解能を得ることが可能です）。さらに、HS1000にはマシンビジョンカメラのオプションがあり、ユーザーがほとんど操作することなく、正確に選ばれた表面の特徴を自動認識することができます。ユーザーフレンドリーなソフトウェアとマシンビジョンカメラ（オプション）により、表面を自動的にスキャンし、対象となるすべての形状を認識することができます。これらの特徴は、自動的に測定されるか、またはユーザーが測定するものをリストから選択することができます。HS1000 は、全体的に優れた機能を兼ね備えています。 プロフィロメーター 半導体、太陽電池、製薬業界における高スループットの要求に対して、間違いなく最適な装置です。「このような重要な機会を与えてくれたチームの能力を誇りに思います。このような重要な機会を与えてくれたチームの能力を誇りに思います」とナノベア社のプロダクト・マネージャーであるクレイグ・ライジングは述べています。
ナノベアプロフィロメーターが「クラス1」のクリーンルーム認定を取得
2009 年 1 月 22 日カリフォルニア州アーバイン - ナノベアインクは、大手マイクロエレクトロニクス製造会社のク ラス 1 クリーンルーム内に同社のプロフィロメータを設置することに成功したと発表しました。クラス 1 クリーンルームは、機器の開発に使用されるすべての材料に対して厳しいコンプライアンスとカスタム要求があることで知られています。ナノベアのプロフィロメーターの高度な3D非接触プロファイリング能力は、今後、最も厳しいマイクロエレクトロニクスクリーンルーム要件に対応するオプションとなるでしょう。クリーン」な電動リニアステージの使用と適切な材料の選択により、ナノベアのエンジニアは厳しいクラス 1 規格に適合するシステムをカスタム設計しました。クラス1のクリーンルームは、汚染レベルが厳しく管理されており、いかなる種類の粒子もほとんど許容されません。X-Yステージの設計では、テスト中に空気中にほとんど粒子が放出されないように、材料の選択が非常に重要でした。また、高い平面度、精度を持ち、複数のエリアを測定し、それらをつなぎ合わせることができるような自動化レベルの設計がなされました。これにより、ユーザーはほとんど操作することなく、相対的な平坦度を比較するために、一つの大きな平面を作成することができるようになります。カスタムプロファイラの測定可能領域は、最大30cm×30cmで、垂直分解能は2nmまで可能です。また、大型の部品や重量物、さらには動かせない部品をスキャンするためのデザインも用意されています。これは、ナノベアのエンジニアがカスタマイズしたプロジェクトのほんの一例に過ぎません。また、30,000点/秒を超える高速プロフィロメーターや、画像認識によるマシンビジョンもカスタムメイドで提供し、効率化を図っています。さらに プロフィロメーター は、材料の厚さを測定しながら、上面と下面の両方から表面測定を取得するカスタムスキャン機能を備えており、すべてナノメートルの分解能で測定できます。"クリーンルーム設計の追加により、ナノベアは厳しい環境に近いところで作業できるようになり、改めて当社の創意工夫への献身を示すことができます。"と、ナノベア社のプロダクトマネージャーであるクレイグ・ライジングは述べています。
プロフィロメーターが新たな地平を切り拓く
2008 年 12 月 2 日カリフォルニア州アーバイン - ナノベアは、非接触式プロファイラのラインアップに、測定速度が 180 倍以上高速化されたシステムを追加することを発表しまし た。この新しい進歩により、ナノベアのプロフィロメータは、より時間的制約のある生産および品質管理環境に適した速度に到達することができるようになりました。このプロフィロメーターの新しい進歩は、このような特殊な環境で使用するためのブレークスルーとなります。これまで、このプロファイリング技術はポイント・バイ・ポイント測定であり、測定試料が光学系を往復する間に1つのデータポイントを取得し、3Dマッピングを作成する必要がありました。今回の新技術では、180点の測定ポイントを同時に取得することができ、表面の3Dマッピングを作成する時間を大幅に短縮することができます。「この新技術により、高いスループットを必要とする新しい市場に対応できるようになります。と、Nanovea社のプロダクトマネージャーであるCraig Leisingは述べました。新しい プロフィロメーター システムは1×180の測定点アレイを使用し、1秒間に最大1800ラインのスキャンが可能で、全体のスキャンレートは1秒間に最大324,000ポイントになります。高解像度で広い面積を数秒で測定することができ、高速検査のための画像認識ソフトウェアを装備することができます。また、オプションとして、180点×230ラインを測定するフィールドスキャン機能を実現するためのスキャンミラーも用意する予定です。また、カスタムインラインシステムも用意する予定です。
ナノベアーの特許出願中の非接触型光深度センシング技術
2008 年 10 月 20 日カリフォルニア州アーバイン - ナノベアは、計装化された圧痕およびスクラッチ試験用の非接触光学式深さセンシングに関する特許を申請中です。この「革命的」な非接触技術は、マイクロ／マクロのスクラッチおよび硬度試験において、100% の正確な高さ測定を実現します。この新しい技術以前は、どのような試験でも機械的な表面接触が必要でしたが、試料の移動中は不可能で、基板や機械のコンプライアンスを考慮する必要がありました。現在では、圧子の正確な深さを非接触で観察できるため、試料の移動はもはや問題ではなく、圧子の真の深さを直接記録することができます。「マイクロフォトニクス表面検査部門のジェネラルマネージャーであるPierre Lerouxは、「私たちはこの新しい技術に非常に期待しており、その優れた結果を紹介できることを楽しみにしています。「この技術は、まさにそれを実現するものだと思います。「この高精度モジュールは、圧痕試験やスクラッチ／接着試験を用いて、薄型／厚型コーティングや基板のマイクロ／マクロ機械特性を測定するための装置です。半導体や光学技術に使用されるプラズマ処理層から、自動車部品や消費財に使用される装飾・保護コーティングに至るまで、工業用コーティングの特性評価に最適なモジュールです。ナノベアマイクロ・マクロ メカニカルテスター は、荷重と深さを独立したセンサーで計測することで、圧痕やスクラッチ試験で使用される荷重と深さの比を求めることができます。その結果、業界最速かつ最も正確な測定が可能となり、あらゆる形状や質感の材料に対応できます。また、柔らかい材料での沈み込みや粗い表面での基準移動など、従来の圧子高さ測定に伴う課題を解決することができます。
材料試験機によるフォーミュラ・ドリフトレース
マイクロフォトニクスは、フォーミュラ・ドリフト・プロフェッショナル・レーシング・シリーズの「オフィシャル材料試験装置サプライヤー」に指名されたことを発表しました。このスポンサーシップは、材料試験および分析用計測器のリーディングカンパニーであるマイクロフォトニクスと、北米で唯一のプロのドリフトレースシリーズであるフォーミュラ・ドリフト社との間で結ばれています。この契約により、マイクロフォトニクスはフォーミュラ・ドリフトに計測機器を提供し、フォーミュラ・ドリフトはマイクロフォトニクスに全てのスポンサーシップの権利と特権を付与することになります。とマイクロフォトニクスのサーフェステスト部門のジェネラルマネージャーであるPierre Lerouxは述べています。マイクロフォトニクスの表面検査部門のジェネラルマネージャーであるPierre Lerouxは次のように述べています。「当社は多様な装置を提供しているので、ドライバーが装置の検証や品質管理に必要なものをすべて提供することができます。ドリフトレースは、決められたコース上のコーナーをパワースライドさせながら、タイヤのトラクションを極限まで高め、競争相手を圧倒する高度な技術を要するモータースポーツです。フォーミュラ・ドリフト・プロフェッショナル・レーシング・シリーズのチーフスチュワードであるランディ・ヘンブリー氏は、「地球上のすべてのドリフトレーサーは、タイヤのデュロメーターを必要としている！」と語っています。この携帯型測定器は、レース中にタイヤの硬さを確認するために使用され、レースでのパフォーマンスに欠かせないものとなります。この提携は、他のフォーミュラ・ドリフトのスポンサー企業との関係構築の機会にもなります。マイクロフォトニクスは、フォーミュラ・ドリフトにおける 材料試験 15年以上にわたって、機器や研究所の検査に携わってきました。同社が専門としているのはナノ・マイクロ機械試験、X線マイクロトモグラフィー、X線回折、3D非接触プロフィロメーター、薄膜分析、生体イメージング装置、NSOM、SPM、AFMシステムなどです。
マイクロフォトニクスの新しいマルチペンタレットは、1つのアセンブリで9つのセンサーオプションを提供します。
2006 年 7 月 7 日、カリフォルニア州アーバイン発 - Micro Photonics Inc.は、クロマティックコンフォーカル測定の柔軟性を高める新しいマルチ光学ペンタレッ トを発表しました。プロフィロメータにマルチオプティカルペンタレットを搭載することにより、ペンの取り外しや追加に時間をかけることなく、迅速かつ容易に光学ペンを交換することができます。3種類の拡大鏡と3種類のクロマチックレンズから構成されるマルチ光学ペンタレットは、1つのアセンブリで最大9種類の光学センサーを提供します。このタレットは、新規または既存のナノベアプロフィロメータ3D光学式非接触光学式プロファイラに簡単に組み込むことができます。ペンの組み合わせは、マイクロフォトニクスが提供する30種類以上のセンサーから選択できます。焦点距離3.3mmから29mmまでの5種類の拡大鏡と、130μmから27mmまでの6種類のクロマチックレンズから選択可能です。ペンの組み合わせにより、最大軸分解能5 nm、精度20 nm、最大傾斜角87°（拡散性物体）の測定が可能です。このナノベアマイクロメジャーのオプションは、マイクロフォトニクス社からのみ提供されています。マイクロフォトニクス社は、1992年以来、材料技術装置とラボ試験のリーディングプロバイダーとして活動しています。同社が専門としているのはナノ・マイクロ機械試験、X線マイクロトモグラフィー、エリプソメトリー、X線回折、3D非接触試験 プロフィロメーター薄膜分析、バイオイメージング機器、NSOM、SPM、AFMシステムなど。
マイクロフォトニクス、低価格のモジュール式クロマティックコンフォーカル光学ペンを発表。
2006年3月24日、カリフォルニア州アーバイン - Micro Photonics Inc.は、本日、最新ラインナップを発表しました。 クロマチックコンフォーカル プロフィロメトリ、マイクロトポグラフィ、粗さ、オートフォーカス振動計、インライン検査品質管理、厚み測定用の光学ペンです。新しいモジュール設計により、特定の被写界深度、スポットサイズ、作動距離、対象物の傾斜、測光効率に合わせて最大30種類の光学ペンの構成が可能です。ユーザーは、焦点距離3.3mmから29mmまでの5種類の拡大鏡と、130μmから27mmの被写界深度の6種類のクロマチックレンズから選択することができます。ペンは、最大軸解像度5nm、精度20nm、拡散性物体に対する最大傾斜角87°を実現します。白色光色収差に基づき、ペンは横分解能（1.1μm）、縦分解能（5nm）に優れており、振動測定やインライン検査、品質管理など、高分解能測定が不可欠なアプリケーションでは、レーザー三角測量センサーよりも優れた選択となります。繊維、ポリマー、黒や濃紺の素材、高アスペクト比の表面、反射率の低い素材など、難しい素材に対しては、白色光色収差が唯一の適切な手法となることが多いのです。マイクロフォトニクスは、これまで白色光色収差は高価すぎると考えていた顧客に対して、競争力のある新しい価格設定が可能になると考えている。マイクロフォトニクスは、「これまで顧客はこの技術について知っており、OEM用途でのメリットも知っていたが、価格が高いため、より安価なレーザーセンサーを優先していた。新しい価格は平均で40%低く、これは違いをもたらすでしょう」と表面検査部門のジェネラルマネージャー、Pierre Lerouxは述べています。30,000Hz までの取得速度は、振動測定、インラインおよびオフラインの品質管理に関する特定の要件に対応します。このシステムは、単体で使用することも、さまざまなソフトウェアパッケージを使用してコンピュータに接続することも可能です。また、3次元表面形状を完全に把握するために、マイクロメジャープロファイラやマイクロメジャーデュアルスキャナなどの統合ソリューションも用意されています。この技術は、Micro Photonics Inc.から提供されています。マイクロフォトニクス社は、1992年以来、材料技術装置とラボ試験のリーディングプロバイダーとして活動しています。同社が専門としているのはナノ・マイクロ機械試験、X線マイクロトモグラフィー、エリプソメトリ、X線回折、3D非接触形状測定、薄膜分析、生体イメージング装置、NSOM、SPM、AFMシステムなど。
マイクロフォトニクス、デュアルスキャニングプロフィロメータとスキャニング測定器を発表
2005年1月25日、カリフォルニア州アーバイン - Micro Photonics Inc.は、本日、表面材料試験装置の最新ラインアップを発表しました。デュアル・スキャニング・プロフィロメータは、この種のものとしては初めて、厚みとデュアル・プロフィロメトリの同時スキャンを可能にしたものです。2本のペンの間のプラットフォームに固定された試料ステージは、x-y方向に移動し、2つのプローブが同期して表面形状を決定します。システムソフトウェアは、ペン間の既知の距離と、試料表面から反射された入射白色光の波長を計算し、任意の点での試料の厚さを決定します。色収差の原理を利用して、2本のペンが白色光を対物レンズに通し、その光を試料表面で反射させます。そして、レンズは入射した白色光の波長を集め、レンズからの距離を変化させながら再集束させます。この独自の技術は、マイクロフォトニクス社から提供されています。マイクロフォトニクス社は、12年以上にわたって材料技術機器とラボ試験のリーディングサプライヤとして活躍しています。同社が専門としているのはナノ・マイクロ機械試験、X線マイクロトモグラフィー、エリプソメトリー、X線回折、3D非接触検査 プロフィロメーター薄膜分析、バイオイメージング機器、NSOM、SPM、AFMシステムなど。
マイクロフォトニクスが温度依存性機械試験のための画期的な技術を提供
カリフォルニア州アーバイン - 2004年4月22日 - 表面材測定器とラボラトリーサービスのリーディングカンパニーであるマイクロフォトニクス社は、材料技術のブレークスルーとなる温度依存性機械試験を導入しました。研究者は、加熱／冷却モジュールを硬度またはスクラッチプラットフォームに簡単に取り付けることができ、-196℃から600℃の範囲の温度を達成することができます。プラチナ抵抗コイルで構成されるモジュールは、設置後、ほぼ完全に密閉された筐体によって熱ドリフトを低減し、非常に安定した正確な温度制御を実現します。ナノ/マイクロ硬さプラットフォームは、もう一つのユニークな利点を提供します。それは、表面と圧子の深さの差分を取る技術で、他の硬さ試験機にはない、試験対象のサンプルの自然な熱膨張の影響に対抗する技術です。圧子試験の多くは室温で行われ、効率的な結果が得られますが、近年、特定の材料の機械的特性を使用時の温度またはそれに近い状態で調査する必要性が著しく高まっており、この技術の開発が進められました。マイクロフォトニクスは、以下のような表面形状測定装置の受託試験サービス、装置、アフターサービス、トレーニングを行っています。 機械的試験摩擦、摩耗、接着、耐スクラッチ性、破壊靭性など。また、薄膜の厚みや光学特性（n&k）を測定するエリプソメーター、粗さ、寸法分析、曲率半径、厚み特性などを調べる非接触表面形状測定装置も多数取り揃えています。さらに、マイクロフォトニクスは、内部微細構造のイメージングと分析を行うX線マイクロトモグラフィ装置を提供しています。
