500纳米玻璃台阶高度。 非接触式轮廓测量法的高精确性
表面表征是目前正在紧张研究中的课题。材料的表面很重要,因为它们是材料和环境之间发生物理和化学相互作用的区域。因此,能够对表面进行高分辨率的成像一直是可取的,因为它允许科学家直观地观察到最小的表面细节。常见的表面成像数据包括地形、粗糙度、横向尺寸和纵向尺寸。识别承重面、制造的微结构的间距和阶梯高度以及表面的缺陷是可以通过表面成像获得的一些应用。然而,所有的表面成像技术都不一样。
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