色素共聚焦技术
无需图像拼接
用于 NANOVEA 的色度共焦技术 轮廓仪该系统的工作原理是利用白光和一系列球面变色透镜。球面变色透镜将白光分成具有独特垂直焦点(与表面的垂直距离或高度)的各个波长。 所有的波长和它们相应的高度构成了一个传感器的高度范围测量标尺。
强度最高的波长将被光谱仪检测到,光谱仪会处理该波长的相关高度。在一次完整的光栅扫描中,这个过程需要 在几分之一秒的时间内,产生感兴趣的表面的精确高度图。
没有复杂的算法,不需要平整。
没有X-Y数据的缝合
侧向分辨率与侧向精度
相机像素大小或显示分辨率通常被定义为横向分辨率,以打动客户。
使用基于相机像素技术的仪器需要复杂的算法来确定仪器的焦点,这对于复杂的表面来说是有问题的。
另一方面,NANOVEA的色度共聚焦技术提供了横向精度,这是由物理学决定的,与光学传感器的色度光源的光斑大小直接相关。
其他
NANOVEA
激光扫描共聚焦显微镜
VS
色光传感器
健康危害
暴露于激光的反射率
安全白光
无需穿戴防护服
不一致的激光光波长
扫描过程中的波长不一致影响结果的准确性
均匀而广泛的白光光谱
波长的变化是正在收集的数据
欺骗性的 "显示决议"。
横向和高度精度由物镜固定。 使得 "显示分辨率 "变得无足轻重
独立的侧向和高度精度
横向和高度精度可以混合和匹配,以满足广泛的扫描要求
复杂的算法
阿尔法混合算法将收集到的数据逐层缝合,为复杂的计算提供了准确的基础。
没有算法
直接测量从表面反射的物理波长,以获得准确的代表性高度图
需要缝合
物镜具有有限的固定视场。 较大区域的缝合影响了扫描的准确性
无缝隙
连续收集数据点,为小区域和大区域提供相同的准确性。
减速50倍
数据采集速度高达7.9KHz
50倍的速度
数据采集速度最高可达384KHz
让我们来扫描一枚硬币
横向精度
其他
NANOVEA
50x目标
VS
高速传感器 (950 μm)
用于50x物镜(370 x 277 µm)。
测量值的±2%
±2% x 370 µm
≈15 µm
采用缝合算法 >> 15 µm
步幅大小。
≈5 µm
3倍的横向准确度
高度的准确性
其他
NANOVEA
50x目标
VS
高速传感器 (950 μm)
≈ 0.2 + L/100 µm
≈ 0.2 + 950/100 µm
≈ 9.7 µm
950 µm范围
≈ 0.6 µm
最高限度:0.014微米
16倍的高度精确性
测试区域
其他
NANOVEA
50x目标
VS
高速传感器 (950 μm)
需要缝合
#扫描件 (25 x 25 mm)
25 000 微米 / 370 微米 x 25 000 微米 / 277 微米
68 x 91
= 6188次扫描
无缝隙
任何测量尺寸均具有一致的精度
1 扫描
测试时间
其他
NANOVEA
50x目标
VS
高速传感器 (950 μm)
每次扫描6秒
+ 4秒位移和缝合
= 10秒/扫描 x 6188次扫描
= 61880秒 (≈17小时)
扫描时间(25×25毫米)
=29.6秒
2090倍的速度