나노베아의 가장 진보된 3D 프로파일로미터

나노비아의 고속 HS1000 3D 프로파일 미터 를 다음 옵션 수준으로 끌어올렸습니다. 표준 광학 펜 대신 나노뷰 옵션의 라인 센서가 선형 및 회전 스테이징과 결합되었습니다.

사양:
속도: 초당 1800 "라인" 또는 324,000 "포인트"
라인 길이: 1.33mm포인트 수입니다: 180
스팟 크기: 3.6um 피치: 7.4um
작업 거리: 5mm
Z 측정 범위: 110um
해상도20nm

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