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실리콘 카바이드 웨이퍼 코팅의 기계적 특성
실리콘 카바이드 웨이퍼 코팅의 기계적 특성을 이해하는 것은 매우 중요합니다. 마이크로 전자 장치의 제조 공정에는 300개 이상의 다양한 공정 단계가 포함될 수 있으며 6주에서 8주까지 소요될 수 있습니다. 이 과정에서 웨이퍼 기판은 어느 한 단계라도 실패하면 시간과 비용 손실로 이어지기 때문에 극한의 제조 조건을 견딜 수 있어야 합니다. 테스트 대상 경도웨이퍼의 접착력/스크래치 저항성 및 COF/마모율은 제조 및 적용 과정에서 부과되는 조건을 견뎌내고 고장이 발생하지 않도록 특정 요구 사항을 충족해야 합니다.
