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나노 스크래치 테스트를 통한 실리콘의 파손 저항성
이 애플리케이션에서 나노베아 메카니컬 테스터는 나노 스크래치 테스트 모드는 170μm 두께의 실리콘 샘플의 파손 저항을 측정하는 데 사용됩니다. 시료의 거동 효과를 관찰하기 위해 스크래치 과정을 제어 및 모니터링하는 방식으로 시뮬레이션해야 합니다. 2μm 다이아몬드 팁 스타일러스를 사용하여 0.5mN에서 400mN 범위의 점진적인 하중을 가하여 실리콘 표면을 긁습니다. 실패 지점을 검토합니다.
