3D 프로파일 측정을 통한 산화 표면적 측정

3D 비접촉 프로파일 미터 를 사용하여 표면적 측정 A1SiN 코팅이 된 두 샘플 중 하나는 실리콘 함량이 낮고 다른 하나는 실리콘 함량이 높습니다. A1SiN 코팅은 마그네트론 스퍼터링을 통해 H13 강철에 증착된 후 내산화성 테스트(900°C-1시간)를 거쳤습니다.

표면적 측정 산화 3D 프로파일로메트리 사용