高温
低温
ST400
モジュール型標準オプティカルプロフィロメーター
200 mm @ 40 mm/s連続スキャン
200 x 150 mm X-Y軸移動、最高速度40 mm/s。
比類なき超高速スキャン
384,000点/秒
最新のソフトウェアにより、画面上のゾーンを選択して自動的にスキャンすることが簡単にできます。パターン認識、データベース通信、マクロプログラム、分析レシピなど、検査のあらゆる側面を自動化するQCオプションが用意されています。
より大きなX-Yステージ、360°回転ステージ、多くのカスタム構成が可能です。
X - Y スキャンエリア
200 x 150 mm モータライズド
高さ範囲
110μm〜24mm
卓上設置
62 x 62 x 82 cm
スキャン速度
40mm/s