マイクロ・モジュール

今や世界をリードするマイクロメカニカル試験。深さ対荷重データから得られる硬さ・弾性率の自動的で正確かつ高速な結果は、従来の硬さ試験機と比較してまさに大飛躍です。この前世紀的な技術は、正確な深さセンサーが利用できなかった時代には、目視による検査が基本でした。そのため、現在では旧式の硬度計を使用するメリットは全くありません。マイクロモジュールは、より速く、より簡単に、特に低荷重でより正確に、より高い再現性で試験を行うことができます。非常に弾性の高い材料や、くぼみの特定が困難な表面など、あらゆる材料で試験を行うことができます。硬さ、弾性率だけでなく、クリープ、応力-ひずみ曲線、降伏強度、疲労、破壊靭性、耐スクラッチ性、塑性/弾性変形、摩耗率、摩擦係数など、幅広い試験を行うことが可能です。

また、旧式のスクラッチ試験機を使っている方。これらのシステムは、荷重範囲が狭く、高荷重で波状の傷を観察する際に見られるような横曲がりを起こしやすいカンチレバーロードセルを使用しています。しかし、マイクロモジュールは剛性の高い圧縮型ロードセルで設計されており、圧子を保持するシャフトに直接接続されたコンデンサーで深さを測定します。その結果、市販品としては最高レベルの精度を実現しました。1つのマイクロモジュールで使用できる荷重の範囲が広い（5桁）ため、DLC、TiN、TiCコーティングの5ミクロン以上で最大200Nの高荷重スクラッチテストを行い、その後50mNの荷重で基板の影響を受けずに硬度と弾性率を測定することが可能になります。サブミクロンまでの薄い皮膜の場合は、20Nを同じように深さ対荷重で一桁mNまで下げても、20Nまでなら優れたスクラッチ試験が可能です。半導体や光学技術に使用されるプラズマ処理層から、自動車部品や消費財に使用される装飾・保護コーティングまで、工業用コーティングの特性評価に理想的な高感度負荷装置です。校正が簡単で迅速なため、時間経過や装置間のデータの精度が保証されています。高性能で長寿命、メンテナンスコストが低く、特に高精度を標準装備しています。

マイクロテストモード

マイクロインデンテーション｜微小硬さ試験

マイクロスクラッチ｜粘着力試験

微小磨耗・摩擦試験