{"id":464,"date":"2012-04-10T14:10:06","date_gmt":"2012-04-10T14:10:06","guid":{"rendered":"http:\/\/nanovea.com\/?p=464"},"modified":"2015-06-30T22:08:30","modified_gmt":"2015-06-30T22:08:30","slug":"the-measurement-of-truth-axial-chromatism-vs-interferometry","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/nanovea.com\/fr\/the-measurement-of-truth-axial-chromatism-vs-interferometry\/","title":{"rendered":"LA MESURE DE LA V\u00c9RIT\u00c9. INCONV\u00c9NIENTS DE L'INTERF\u00c9ROM\u00c9TRIE"},"content":{"rendered":"

Quelques r\u00e9flexions sur ce qu'il faut prendre en compte lors de l'examen des deux lumi\u00e8res blanches profilom\u00e8tre<\/a> techniques. Les inconv\u00e9nients de l'interf\u00e9rom\u00e9trie en lumi\u00e8re blanche commencent par l'utilisation de logiciels et d'\u00e9quations math\u00e9matiques pour d\u00e9tecter, gr\u00e2ce au syst\u00e8me d'imagerie, le mouvement des franges sur l'\u00e9cran lorsque l'\u00e9chantillon ou la t\u00eate de mesure est d\u00e9plac\u00e9 vers le haut ou vers le bas selon des \u00e9tapes sp\u00e9cifiques. La qualit\u00e9 de ces mesures d\u00e9pend de ce que le logiciel et le syst\u00e8me d'imagerie peuvent faire en termes de \"d\u00e9tection\" du mouvement de ces franges. Lorsqu'il s'agit de surfaces r\u00e9fl\u00e9chissantes et lisses, la pr\u00e9cision des donn\u00e9es est sup\u00e9rieure. C'est pourquoi la technique a \u00e9t\u00e9 principalement d\u00e9velopp\u00e9e pour les applications de semi-conducteurs o\u00f9 les surfaces sont souvent r\u00e9fl\u00e9chissantes et o\u00f9 les marches, si elles sont pr\u00e9sentes, sont proches d'angles de 90\u00b0.<\/p>\n

Cependant, avec une surface rugueuse et peu r\u00e9fl\u00e9chissante, l'interpr\u00e9tation logicielle de la surface r\u00e9elle devient tr\u00e8s \u00e9loign\u00e9e de la v\u00e9rit\u00e9 en raison des artefacts inh\u00e9rents \u00e0 la technique d'interf\u00e9rom\u00e9trie. En outre, l'interf\u00e9rom\u00e9trie est \u00e9galement extr\u00eamement limit\u00e9e en termes de mesure d'angle. L\u00e0 encore, les logiciels peuvent d\u00e9sormais accomplir des miracles pour compl\u00e9ter les surfaces avec des informations suppl\u00e9mentaires telles que la forme pr\u00e9vue de la surface. La pr\u00e9visualisation des donn\u00e9es brutes est un moyen de savoir ce que le logiciel a manipul\u00e9, mais m\u00eame le logiciel d'analyse primaire rend automatiquement une interpr\u00e9tation de ce \u00e0 quoi doit ressembler la surface et compl\u00e8te automatiquement les points non mesur\u00e9s \u00e0 l'insu de l'utilisateur. Avec un logiciel intelligent, les artefacts peuvent \u00eatre impossibles \u00e0 distinguer des donn\u00e9es r\u00e9elles puisque le rendu de l'image 3D aura l'air parfait et que souvent les utilisateurs ne savent pas \u00e0 quoi ressemble r\u00e9ellement leur surface. Cela est particuli\u00e8rement vrai lorsqu'il s'agit de surfaces plus complexes et difficiles.<\/p>\n

La rapidit\u00e9 est \u00e9galement \u00e9voqu\u00e9e comme une diff\u00e9rence majeure entre les deux techniques. Il est vrai que l'interf\u00e9rom\u00e9trie permet de mesurer plus rapidement une image du champ de vision pour \u00e9valuer la rugosit\u00e9 et le pas. Ce sont des avantages \u00e9vidents lorsqu'il s'agit de surfaces semi-conductrices lisses. Mais l\u00e0 encore, si la surface \u00e0 mesurer n'est pas lisse, les donn\u00e9es peuvent \u00eatre fournies plus rapidement mais sont loin d'\u00eatre des donn\u00e9es r\u00e9elles. En outre, l'assemblage de surfaces fonctionne lorsque, l\u00e0 encore, la surface est lisse et r\u00e9fl\u00e9chissante et que les marqueurs de position sont clairs. La pr\u00e9cision de l'assemblage diminue \u00e0 mesure que la surface devient plus rugueuse et que les types de mat\u00e9riaux sont plus difficiles. Il peut devenir difficile de d\u00e9tecter les artefacts et les probl\u00e8mes qui en d\u00e9coulent lorsque la surface est plus rugueuse que lorsque vous voyez une \u00e9tape claire. Pour obtenir la meilleure r\u00e9solution lat\u00e9rale, il est n\u00e9cessaire d'utiliser un objectif 100x, ce qui limite la zone de mesure \u00e0 environ 140 microm\u00e8tres x 110 microm\u00e8tres. Le nombre d'images \u00e0 assembler peut devenir un probl\u00e8me lorsqu'on essaie d'obtenir des donn\u00e9es pr\u00e9cises sur des pi\u00e8ces plus grandes (100 images pour 1mmx1mm et 10000 images pour un 10mmx10mm). La r\u00e9solution lat\u00e9rale de l'image est fonction du nombre de pixels de la cam\u00e9ra utilis\u00e9e.<\/p>\n

Contrairement \u00e0 la technique manipulatrice de l'interf\u00e9rom\u00e9trie, la technologie du chromatisme axial \u00e0 lumi\u00e8re blanche mesure la hauteur directement \u00e0 partir de la d\u00e9tection de la longueur d'onde qui frappe la surface de l'\u00e9chantillon mis au point. Il s'agit d'une mesure directe, sans manipulation math\u00e9matique du logiciel. Cela permet d'obtenir une pr\u00e9cision in\u00e9gal\u00e9e sur la surface mesur\u00e9e car un point de donn\u00e9es est soit mesur\u00e9 avec pr\u00e9cision sans interpr\u00e9tation du logiciel, soit pas du tout. Le logiciel peut compl\u00e9ter le point non mesur\u00e9, mais l'utilisateur en est pleinement conscient et peut \u00eatre certain qu'il n'y a pas d'autres artefacts cach\u00e9s. La technique peut \u00e9galement mesurer presque toutes les surfaces de mat\u00e9riaux avec des angles beaucoup plus \u00e9lev\u00e9s, jusqu'\u00e0 plus de 80\u00b0 dans certains cas. Le chromatisme axial peut balayer une longueur de plus de 30 cm en moins de 0,3 seconde. De nouveaux syst\u00e8mes d'acquisition sont maintenant disponibles pour atteindre 31 000 points par seconde avec un balayage de 1m\/s. Les nouveaux capteurs lin\u00e9aires avec Chromatisme Axial peuvent en fait mesurer jusqu'\u00e0 324 000 points par seconde. Une image typique acquise par un interf\u00e9rom\u00e8tre comporterait moins de 1 000 000 de points de donn\u00e9es par champ de vision. Avec un capteur lin\u00e9aire de chromatisme axial, le balayage prend quelques secondes, ce qui signifie que la vitesse r\u00e9elle est tr\u00e8s proche de celle de l'interf\u00e9rom\u00e9trie, tout en fournissant des donn\u00e9es plus exactes. La vitesse doit donc \u00eatre consid\u00e9r\u00e9e en fonction de l'application elle-m\u00eame.<\/p>\n

La croissance de la technique d'interf\u00e9rom\u00e9trie est principalement due \u00e0 son succ\u00e8s dans les industries aux moyens financiers plus importants. Par cons\u00e9quent, le co\u00fbt de l'interf\u00e9rom\u00e9trie est g\u00e9n\u00e9ralement deux fois plus \u00e9lev\u00e9 que celui des syst\u00e8mes de chromatisme axial ayant une r\u00e9solution similaire et une capacit\u00e9 plus large. D'apr\u00e8s notre exp\u00e9rience, 90% des applications sont mieux servies en utilisant la technique du chromatisme axial. Les clients qui ont choisi la technologie du chromatisme axial ont rarement \u00e9t\u00e9 d\u00e9\u00e7us alors que le choix de l'interf\u00e9rom\u00e9trie comporte de nombreux \u00e9cueils. Et le regret est presque toujours le m\u00eame : l'inconv\u00e9nient de l'interf\u00e9rom\u00e9trie, qui offre une large capacit\u00e9 de mesure et des donn\u00e9es fiables, est associ\u00e9 \u00e0 un prix \u00e9lev\u00e9.<\/p>\n

Voir le rapport d\u00e9taill\u00e9 <\/a><\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

Some thoughts on what to consider when reviewing the two white light profilometer techniques. White Light Interferometry disadvantages start with using software and mathematical equations to detect, through the imaging system, the movement of fringes across the screen as the sample or the measuring head is moved up or down in specific steps. These measurements […]<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":465,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_exactmetrics_skip_tracking":false,"_exactmetrics_sitenote_active":false,"_exactmetrics_sitenote_note":"","_exactmetrics_sitenote_category":0,"footnotes":""},"categories":[1],"tags":[197],"class_list":["post-464","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-uncategorized","tag-interferometry-disadvantages"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/nanovea.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/464","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/nanovea.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/nanovea.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/nanovea.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/nanovea.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=464"}],"version-history":[{"count":3,"href":"https:\/\/nanovea.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/464\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":1913,"href":"https:\/\/nanovea.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/464\/revisions\/1913"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/nanovea.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media\/465"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/nanovea.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=464"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/nanovea.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=464"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/nanovea.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=464"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}