{"id":464,"date":"2012-04-10T14:10:06","date_gmt":"2012-04-10T14:10:06","guid":{"rendered":"http:\/\/nanovea.com\/?p=464"},"modified":"2015-06-30T22:08:30","modified_gmt":"2015-06-30T22:08:30","slug":"die-messung-des-richtigen-axialen-chromatismus-vs-interferometrie","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/nanovea.com\/de\/die-messung-des-richtigen-axialen-chromatismus-vs-interferometrie\/","title":{"rendered":"DIE MESSUNG DER WAHRHEIT. NACHTEILE DER INTERFEROMETRIE"},"content":{"rendered":"

Einige \u00dcberlegungen dazu, was bei der Pr\u00fcfung der beiden wei\u00dfen Leuchten zu beachten ist profilometer<\/a> Techniken. Die Nachteile der Wei\u00dflicht-Interferometrie beginnen mit der Verwendung von Software und mathematischen Gleichungen, um mit Hilfe des Bildgebungssystems die Bewegung der Streifen \u00fcber den Bildschirm zu erkennen, wenn die Probe oder der Messkopf in bestimmten Schritten nach oben oder unten bewegt wird. Diese Messungen sind nur so gut wie das, was die Software und die bildgebenden Teile in Bezug auf die \"Erkennung\" der Bewegung dieser Streifen leisten k\u00f6nnen. Bei spiegelnden und glatten Oberfl\u00e4chen ist die Genauigkeit der Daten besser. Aus diesem Grund wurde das Verfahren in erster Linie f\u00fcr Halbleiteranwendungen entwickelt, bei denen die Oberfl\u00e4chen h\u00e4ufig spiegeln und die Stufen, falls vorhanden, einen Winkel von nahezu 90\u00b0 bilden.<\/p>\n

Bei einer rauen und wenig reflektierenden Oberfl\u00e4che ist die Software-Interpretation der realen Oberfl\u00e4che jedoch aufgrund der Artefakte der Interferometrie-Technik weit von der Wahrheit entfernt. Hinzu kommt, dass die Interferometrie auch bei der Winkelmessung extrem eingeschr\u00e4nkt ist. Auch hier kann die Software nun Wunder vollbringen und Oberfl\u00e4chen mit zus\u00e4tzlichen Informationen wie der erwarteten Form der Oberfl\u00e4che erg\u00e4nzen. Eine Vorschau der Rohdaten ist eine M\u00f6glichkeit, um zu erkennen, was die Software manipuliert hat, aber auch die prim\u00e4re Analysesoftware gibt automatisch eine Interpretation dessen wieder, wie die Oberfl\u00e4che aussehen muss, und vervollst\u00e4ndigt automatisch nicht gemessene Punkte, ohne dass der Benutzer davon wei\u00df. Bei cleverer Software kann es unm\u00f6glich sein, Artefakte von echten Daten zu unterscheiden, da das Rendering des 3D-Bildes perfekt aussieht und die Benutzer oft nicht wissen, wie ihre Oberfl\u00e4che wirklich aussieht. Dies gilt insbesondere bei komplexeren und schwierigeren Oberfl\u00e4chen.<\/p>\n

Auch die Geschwindigkeit wird als wesentlicher Unterschied zwischen den beiden Verfahren angef\u00fchrt. Es stimmt, dass die Interferometrie schneller ein Bild des Sichtfeldes messen kann, um Rauheit und Stufe zu bewerten. Dies sind klare Vorteile bei glatten Halbleiteroberfl\u00e4chen. Aber auch hier gilt: Wenn die zu messende Oberfl\u00e4che nicht glatt ist, k\u00f6nnen die Daten zwar schneller geliefert werden, sind aber weit entfernt von echten Daten. Au\u00dferdem funktioniert das Stitching von Oberfl\u00e4chen, wenn die Oberfl\u00e4che glatt und reflektierend ist und klare Positionsmarkierungen aufweist. Die Genauigkeit des Stitching nimmt ab, wenn die Oberfl\u00e4che rauer wird und es sich um schwierigere Materialien handelt. Es kann schwierig werden, Artefakte und Probleme zu erkennen, wenn die Oberfl\u00e4che rauer ist, als wenn man eine klare Stufe sieht. Um die beste seitliche Aufl\u00f6sung zu erzielen, ist es notwendig, ein 100x-Objektiv zu verwenden, was den Messbereich auf etwa 140 x 110 Mikrometer begrenzt. Die Anzahl der Bilder, die zusammengef\u00fcgt werden m\u00fcssen, kann zu einem Problem werden, wenn man versucht, genaue Daten \u00fcber gr\u00f6\u00dfere Teile zu erhalten (100 Bilder f\u00fcr 1mmx1mm und 10000 Bilder f\u00fcr 10mmx10mm). Die seitliche Aufl\u00f6sung des Bildes h\u00e4ngt von der Anzahl der Pixel der verwendeten Kamera ab.<\/p>\n

Im Gegensatz zur manipulativen Interferometrietechnik wird bei der Axialchromatographie mit Wei\u00dflicht die H\u00f6he direkt durch die Erkennung der Wellenl\u00e4nge gemessen, die auf die Oberfl\u00e4che der Probe im Fokus trifft. Es handelt sich um eine direkte Messung ohne mathematische Softwaremanipulation. Dies erm\u00f6glicht eine un\u00fcbertroffene Genauigkeit der gemessenen Oberfl\u00e4che, da ein Datenpunkt entweder genau ohne Softwareinterpretation oder \u00fcberhaupt nicht gemessen wird. Die Software kann den nicht gemessenen Punkt vervollst\u00e4ndigen, aber der Benutzer ist sich dessen voll bewusst und kann sicher sein, dass es keine anderen versteckten Artefakte gibt. Mit dieser Technik k\u00f6nnen auch nahezu alle Materialoberfl\u00e4chen mit sehr viel gr\u00f6\u00dferen Winkeln gemessen werden, in manchen F\u00e4llen bis zu \u00fcber 80\u00b0. Axialer Chromatismus kann eine L\u00e4nge von \u00fcber 30 cm in weniger als 0,3 Sekunden scannen. Neue Erfassungssysteme sind jetzt verf\u00fcgbar, um 31.000 Punkte pro Sekunde bei einer Abtastgeschwindigkeit von 1m\/s zu erreichen. Neue Zeilensensoren mit Axialchromatismus k\u00f6nnen sogar bis zu 324.000 Punkte pro Sekunde messen. Ein typisches Bild, das mit einem Interferometer aufgenommen wird, hat weniger als 1.000.000 Datenpunkte pro Sichtfeld. Bei Verwendung eines Axialchromatismus-Zeilensensors dauert das Scannen einige Sekunden, was bedeutet, dass die tats\u00e4chliche Geschwindigkeit sehr nahe an der Geschwindigkeit der Interferometrie liegt, aber wahrheitsgetreuere Daten liefert. Daher sollte die Geschwindigkeit von der jeweiligen Anwendung abh\u00e4ngig gemacht werden.<\/p>\n

Das Wachstum der Interferometrietechnik ist vor allem auf ihren Erfolg in Branchen mit gr\u00f6\u00dferem Budget zur\u00fcckzuf\u00fchren. Daher sind die Kosten f\u00fcr die Interferometrie in der Regel doppelt so hoch wie f\u00fcr Axialchromatographie-Systeme mit \u00e4hnlicher Aufl\u00f6sung und breiterem Leistungsspektrum. Wir haben die Erfahrung gemacht, dass 90% Anwendungen besser mit der Axialchromatometrie-Technik bedient werden k\u00f6nnen. Kunden, die sich f\u00fcr die Axialchromatismus-Technik entschieden haben, wurden selten entt\u00e4uscht, w\u00e4hrend es bei der Interferometrie viele Fallstricke gibt. Und das Bedauern ist fast immer dasselbe: Der Nachteil der Interferometrie liegt in der breiten Messm\u00f6glichkeit und den zuverl\u00e4ssig wahren Daten bei einem hohen Preis.<\/p>\n

Siehe ausf\u00fchrlicher Bericht <\/a><\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

Some thoughts on what to consider when reviewing the two white light profilometer techniques. White Light Interferometry disadvantages start with using software and mathematical equations to detect, through the imaging system, the movement of fringes across the screen as the sample or the measuring head is moved up or down in specific steps. These measurements […]<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":465,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_exactmetrics_skip_tracking":false,"_exactmetrics_sitenote_active":false,"_exactmetrics_sitenote_note":"","_exactmetrics_sitenote_category":0,"footnotes":""},"categories":[1],"tags":[197],"class_list":["post-464","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-uncategorized","tag-interferometry-disadvantages"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/nanovea.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/464","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/nanovea.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/nanovea.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/nanovea.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/nanovea.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=464"}],"version-history":[{"count":3,"href":"https:\/\/nanovea.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/464\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":1913,"href":"https:\/\/nanovea.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/464\/revisions\/1913"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/nanovea.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/465"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/nanovea.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=464"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/nanovea.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=464"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/nanovea.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=464"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}