Irvine, Kalifornien, 27. Juli 2016 - Bei der herk\u00f6mmlichen Profilometrie werden Probenoberfl\u00e4chen aus einer einzigen, festen Richtung gescannt. Dies ist nur f\u00fcr die Messung ausreichend flacher Proben geeignet, im Gegensatz zu zylindrischen Formen, die eine pr\u00e4zise 360\u00b0-Drehung erfordern. F\u00fcr eine Anwendung wie die Charakterisierung der schraubenf\u00f6rmigen Schneidkante eines Werkzeugs w\u00fcrde eine herk\u00f6mmliche Maschine mehrere Scans aus verschiedenen Winkeln des gesamten Teils sowie eine umfangreiche Datenmanipulation nach dem Scan erfordern. Dies ist oft zu zeitaufw\u00e4ndig f\u00fcr QC-Anwendungen, die nur Messungen von ganz bestimmten Regionen erfordern.<\/p>\n
Der Rotationstisch von NANOVEA l\u00f6st dieses Problem durch die gleichzeitige Bewegungssteuerung der lateralen und rotatorischen Achsen. Mit dieser Technik entf\u00e4llt die zeitaufw\u00e4ndige Vermessung des gesamten Teils und die st\u00e4ndige Neuausrichtung. Stattdessen kann der volle Umfang der gesamten Schnittkante in Sekundenschnelle bestimmt werden. Alle gew\u00fcnschten Winkel und Merkmale k\u00f6nnen direkt aus dem Scan bestimmt werden, ohne dass mehrere Dateien zusammengef\u00fcgt werden m\u00fcssen.<\/p>\n
Die chromatische konfokale Technik von NANOVEA bietet eine weitaus h\u00f6here Aufl\u00f6sung (bis zu 2,7 nm) und Genauigkeit als die der Wettbewerber im Bereich der Fokusvariation. Die rohe Oberfl\u00e4chenh\u00f6he wird direkt aus der Erkennung der auf die Oberfl\u00e4che fokussierten Wellenl\u00e4nge gemessen, ohne die durch Interferometrietechniken verursachten Fehler, ohne Einschr\u00e4nkungen des Sichtfelds und ohne Notwendigkeit einer Probenoberfl\u00e4chenvorbereitung. Materialien mit extrem hohem oder niedrigem Reflexionsverm\u00f6gen k\u00f6nnen problemlos gemessen werden, und sehr hohe Wandwinkel werden ohne Probleme genau charakterisiert.<\/p>\n
In Verbindung mit dem Zeilensensor von NANOVEA kann ein bis zu 4,78 mm breiter Balken in einem einzigen Durchgang erfasst werden, w\u00e4hrend er sich bis zu 150 mm linear in Scanrichtung bewegt. Gleichzeitig kann der Rotationstisch die Probe mit der gew\u00fcnschten Geschwindigkeit drehen. Zusammengenommen erm\u00f6glicht dieses System die Erstellung einer kontinuierlichen 3D-H\u00f6henkarte des gesamten Umfangs einer Schneidkante mit beliebigem Abstand oder Radius in einem Bruchteil der Zeit im Vergleich zu anderen Technologien.<\/p>\n