أرشيف المدونة
قياس سماكة طلاء الويفر باستخدام مقياس التشكيل الجانبي ثلاثي الأبعاد
يعد قياس سماكة طلاء الويفر أمرًا بالغ الأهمية. تستخدم رقائق السيليكون على نطاق واسع في صنع الدوائر المتكاملة والأجهزة الدقيقة الأخرى المستخدمة في عدد كبير من الصناعات. إن الطلب المستمر على الرقائق الرقيقة والأكثر نعومة والطلاء الويفر يجعل Nanovea 3D غير متصل مقياس الملامح أداة رائعة لتحديد سمك وخشونة الطلاء تقريبًا لأي سطح. تم أخذ القياسات الواردة في هذه المقالة من عينة بسكويت الويفر المطلية من أجل إظهار إمكانيات مقياس التشكيل الجانبي ثلاثي الأبعاد غير المتصل.
قياس سماكة طلاء الويفر باستخدام مقياس التشكيل الجانبي ثلاثي الأبعاد