مقياس التعريف ثلاثي الأبعاد الأكثر تقدمًا من NANOVEA على الإطلاق
حصلت Nanovea على جهاز High Speed HS1000 3D مقياس الملامح إلى المستوى الاختياري التالي. بدلاً من القلم البصري القياسي، تم دمج مستشعر الخط، في خيار Nanoview، مع كل من التدريج الخطي والدوراني.
تحديد:
سرعة: 1800 "خط" أو 324000 "نقطة" في الثانية
طول الخط: 1.33 ملمعدد النقاط: 180
حجم البقعة: 3.6 مم يقذف: 7.4um
مسافة العمل: 5 ملم
نطاق القياس Z: 110um
دقة: 20 نانومتر